增加SiC基底表面改性后膜层机械特性的检测设备
SiC的精细抛光是很耗时的工作，在制备出改性膜层后，我们不能把对膜层好坏的评价寄希望于对每次试验样品的实际抛光，必须采用其他的更直接的检测手段。
SiC表面改性膜层的硬度、弹性模量、断裂韧性以及膜层与SiC基底的结合强度等参数对于改性后SiC的精细抛光是十分重要的。需要去对这些特性进行精确的检测和研究。
相对整体材料来说，表面改性膜层是非常薄的，常规的检测设备无法检测膜层的机械性能。因此我们引进了SiC表面改性辅助系统
